产业链节点 / NODE · 电子化学品

电子特气 Specialty Gases

资源 19→中间体与试剂 17→电子化学品 15→电子材料 24→下游应用 8

节点口径

层级:电子化学品 · 所在链:电子化学品 · 在图谱中查看 →

在链中的角色NF₃ / WF₆ / C₄F₆ / SiH₄（刻蚀、清洗、沉积）

影响NF₃ 价、装置扩产

研报库断言76 条覆盖 4 个主体 · 物质 72 · 行业 4

雅克科技 18凯美特气 12金宏气体 5成都科美特 4华特气体 3林德 3中船特气 1中芯国际 1南大光电 1联泓新科 1

关东日本电化、南大光电、中船 718 所；进口 SK Materials、林德

电子（一级） 36半导体（二级） 26半导体材料（三级） 23基础化工（一级） 20化学制品（二级） 18其他化学制品（三级） 12电子化学品Ⅱ（二级） 9电子化学品Ⅲ（三级） 9

电子化学品；次要：半导体、化学制品

口径：断言数与公司 / 行业 / 产品 / 市场来自研报断言库（216,857 条 claim）的实测归一；链上厂商、链主服务行业、下游应用与回收回补路径来自产业链图谱策展。两条来源不可互相替代。

只列工艺路线大类,不含工艺条件与参数。

氟源（NF₃ / WF₆ 等含氟特气）合成 → 高纯化（电子级）刻蚀 / 腔室清洗

单节点看不到传导。在电子化学品产业链图谱中以它为中心查看 ±2 跳关联, 或回到产业链总览。

本节点属于长尾，未进入搜索引擎索引。如需持续跟踪该节点的数据变化，可用同一个数据契约打开它的动态页（与小程序共用同一份数据）。

技术要求 / NOTES